随着微电子、集成电路工业的高速发展,洁净厂房对空气洁净度的要求越来越高,要求控制尘粒的粒径到0.1μm以下,为了与国际接轨,新规范等同采用国际标准ISO14644-1中的有关规定,空气洁净度等级从4个等级增加为9个等级,即1级、2级…9级。
规范中对洁净空气所流流型的选择也作了明确的规定“对于空气洁净度等级要求1~4级时,应采用垂直单向流;空气洁净度等级要求为5级时,应采用垂直单向流或水平单向流;6~9级时,宜采用非单向流”。所谓气流流型就是对无尘车间内空气的流动形态和分布进行合理的设计。其特点:应考虑避免或减少祸流,有利于*有效地排除污染物,应尽量限制和减少室内污染源散发的尘和菌的扩散,维持室内生产环境所要求的空气洁净度等级。
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